Дом электронных книг » Технологии » Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе


Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основеНазвание: Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Автор: Папков В.С., Цыбульников М.Б.
Год: 1979
Страниц: 88
Формат: pdf
Размер: 37 Мб
Качество: хорошее
Язык: русский

Рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирования на их основе интегральных схем. Изложены методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также методы подготовки диэлектрических подложек к гетероэпитаксии. Рассмотрены вопросы получения монокристаллических слоев кремния газотранспортными методами, особенности кристаллического строения и электрофизических свойств кремния на диэлектрических подложках. Книгу завершает материал о приборных разработках. Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства полупроводниковых приборов и материалов для микроэлектроники.

Скачать книгу

Turbobit
Bitoman
DepositFiles
Letitbit
Unibytes



  • Добавил: Palladin  24.09.2012 |
  • Просмотров: 744 |
  • Категория: Технологии |
  • Напечатать


  • Поделитесь книгой в соцсетях:

    Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
    Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
    Информация
    Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.