Дом электронных книг » Технологии » Микролитография

Микролитография


МикролитографияНазвание: Микролитография
Автор: Моро У.
Год: 1990
Страниц: 1237
Формат: pdf
Размер: 85 Мб
Качество: хорошее
Язык: русский

Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии. Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов. Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.

Скачать книгу

Turbobit
DepositFiles
Letitbit



  • Добавил: Palladin  25.05.2012 |
  • Просмотров: 851 |
  • Категория: Технологии |
  • Напечатать


  • Поделитесь книгой в соцсетях:

    Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
    Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
    Информация
    Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.